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    PD系列干式螺旋真空泵

    PD系列干式螺旋真空泵 汉钟精机PD系列干式螺旋真空泵浦乃是利用一对互相咬合的螺旋转子,在转子间维持微小的间隙,使得真空泵浦运转时腔体内无需润滑,因而无油气回漏污染的问

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    PD系列干式螺旋真空泵
     
    汉钟精机PD系列干式螺旋真空泵浦乃是利用一对互相咬合的螺旋转子,在转子间维持微小的间隙,使得真空泵浦运转时腔体内无需润滑,因而无油气回漏污染的问题。透过专利转子线形良好的密封效果,终极压力可达7.5×10-3 Torr(搭上鲁式泵浦可达7.5×10-4 Torr)。螺旋式真空泵浦由于排气路径短,粉尘移除能力较其他型式的真空泵浦强,加上转子表面披复特殊材质的镀层,因此可适用于各类严苛制程

     

     

    泵浦温度控制精准
     
    干式螺旋真空泵浦,承袭上一代真空泵浦优良的转子设计,同时改善壳体的冷却方式,采用水套间接水冷的方式来降低壳体的温度,能够更精准地控制泵浦内部温度,减少沉积物的产生,增加真空泵浦的寿命
     
     
     
    密封马达安全性高
     
    真空泵浦亦全面采用专利设计的水冷罐装密封马达,除了能维持更低的马达运转温度增加马达的寿命外,也可完全避免制程气体外漏的风险
     
     
     
    微电脑控制保护周全
     
    真空泵浦亦可配备微电脑控制器,可同时监控马达电流、马达温度、壳体温度、冷却水流量、氮气流量以及齿轮箱油位高低,提供真空泵浦完整的安全性保护,十分适用于光电、半导体、太阳能与TFT-LCD等产品稳定性要求极高之产业
     
     
     
    专利转子线型设计
     
    利用螺旋转子的流体传输特性,搭配转子线型专利设计,可于运转中有效防止气体回漏,适合各种严苛制程。且变导程转子设计,达到节能目的

    采购:AE6-08A普通螺杆空压机

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