真空泵日常保养
真空泵必须符合下列安全规范，否则会造成人员伤害或设备受损。
1.任何拆装工作必须由维修技术人员担任，维修技术人员必须熟悉真空泵浦相关的安全守则，使用适当的装
备进行拆解、清洁已经接触过制程的污染零件。
2.真空泵浦未完全停止运转之前，不得移动、拆解组装以免发生危险，并确认电源已经切断。
3.请注意壳体、排气管及加热器等温度较高之元件周遭，以避免人员烫伤。
4.进行任何拆卸之前，先使用氮气对真空泵浦作适当的肃清，至少一小时。
5.本机各元件及管路均可能存有残留气体，拆装前应先确认机组压力已完全排出。
6.使用过O型环，请勿再使用。小心谨慎处理密封面，禁止刮伤。任何拆装、维修保养之后，必须测漏试
验。
7.当真空泵浦不当操作、故障、火灾或其他因素造成超过260℃时，真空泵浦内部的真空油、真空油脂、O
型环、表面氟化处理等含氟化合物可能被热分解，请勿接触或吸入。
8.依据环保法规处理真空油、真空油脂、其他废弃物。
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